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高分辨聚焦離子束掃描電鏡XEIA

產 品 名:高分辨聚焦離子束掃描電鏡XEIA


新一代超高分辨雙束聚焦掃描電鏡工作平台

        XEIA3,是一款獨特的集多種功能於一體的新型雙束聚焦(XE)掃描電子顯微鏡,它性能優異,為用戶提供完美的整體解決方案。XEIA3不僅配有大功率的FIB以進行超快速的微米或納米級切割,還具備出色的低能粒子束成像能力,同時亦可以進行快速可靠地顯微分析以及樣品分析的3D重建。


產品說明| 基本參數| 產品性能

 關鍵參數特征
功能強大的SEM電子光學係統,采用高亮度的Schottky發射器為電子源,具有束流大,噪點低,非凡的成像能力等特點
 In-Beam探測器能夠確保在極小的工作距離下仍能收集信號,進行高品質成像
 采用Xe等離子體源的超快速FIB係統 束流大,具有驚人的離子束切割速度,因此在切除大體積塊狀材料時卓有成效;同時較低的離子束流便於完成樣品表麵拋光
電子束減速技術(BDT助力於進行超低著陸電壓下的完美成像
隔離材料的植入、摻雜或降解更少,這點對於半導體行業相當重要
SEM FIB兩係統互補,即使用FIB進行樣品切割或沉積時,可同時進行SEM成像拍照
TESCAN電鏡獨有的各種自動化操作技術,如In-Flight Beam TracingTM技術可通過計算精確的調節高分辨率成像所需的參數設置(例如工作距離WD、放大倍率等)
DrawBeam 軟件模塊是一個便於進行圖案設計的工具,3D功能亦很強大,使用它可在FIB切割或粒子束蝕刻等過程可實時獲取圖像
3D EDX3D EBSD等三維顯微分析技術帶來全新的解決方案
獨家集成了飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS)與 掃描探針顯微技術,可擴展的大樣品室,使用戶能夠進行6’’8’’ and 12’’ 的晶片光刻檢驗12’’ 晶片光刻檢驗是TESCAN電鏡獨有的技術能力
氣體注入係統 (GIS) 有助於使FIB完成更多應用
高性能的電子成像能力,其成像速率可高達20 ns/pxl, 同時具備出色的沉積速率及超快的掃描速度

渦輪分子泵及前級泵的高效能有利於保持樣品室的清潔度;電子槍通過離子吸氣泵獲得真空


  為用戶需求提供具體解決方案


TESCAN公司不僅為用戶提供行業領先的先進儀器設備,而且長期致力於為研究者提供最大的技術支持以推動人類科學與技術的進步 XEIA3新型電鏡的推出,彰顯了TESCAN的這份使命感。同時,這點也體現在TESCAN積極地為用戶提供全方位的定製化服務上。TESCAN願攜手來自材料/生命科學以及半導體/工程等諸多行業領域的研究人員,共同迎接未來的挑戰。


  Xe等離子體源,極大地擴展FIB的應用能力


XEIA3型電鏡為雙束聚焦掃描電子顯微鏡,同時集成了以Xe等離子體為離子源的FIB係統和具有超高分辨率的SEM係統。FIBSEM兩係統的協同作用,能夠完成一項迄今為止尚未實現的功能——以極快的速度進行大塊材料的FIB切割去除。同時,SEM電子顯微係統具有低於2nm的極佳分辨率,能夠幫助科學研究或高科技產業開發並完成更多的應用。而且,大束流的等離子體離子源也能大大擴展該電鏡的使用範圍,幫助用戶完成更多工作。



  應用實例


半導體和微電子領域


Xe等離子體源的FIB係統,能夠為用戶提供更加快速便捷的技術手段,使其更好地利用能譜(EDX)、波譜(WD)等化學成分分析方法,更能夠充分發揮3D EDX3D EBSD的功能及特點。同時,XEIA3還能夠搭載飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS),用於進行優異分辨率的表麵分析。以上可知,XEIA3是一個功能超級全麵的分析平台,其在材料科學領域所呈現的研究能力顯而易見。


    新材料及其形貌表征的研究
               晶體、陶瓷及高分子等非導電材料研究
   複雜結構碳納米管的圖案結構觀察
 
            碳納米管                             Ag納米線

  材料科學


XEIA3雙束聚焦離子束掃描電鏡配有大功率Xe等離子體源FIB係統,特別適合半導體和微電子行業的檢測和應用。用戶可采用大束流進行快速FIB切割,大束流也適用於製備材料薄層切片或切割較大橫截麵;使用中等束流進行拋光,並去除表麵加工痕跡;小束流用於進行切割截麵或薄層切片最後的精拋光。另外,FIB進行離子刻蝕能夠獲得更好的蝕刻圖案分辨率。


 


             製備薄片樣品                                  釺焊隆起界麵細節觀察 

  生命科學


XEIA3聚焦離子束掃描電鏡的超強成像能力,能夠在自然狀態下對多種生物樣品進行觀察、成像。生物樣品不需要噴塗導電層,也不用進行化學固定,因此整個分析過程大大簡化,非常便於用戶操作。



    微生物學
    生物醫學工程
    生物細胞與組織學
    細胞鑒定
    製藥學及製藥工程
    動力學過程的研究,如物質晶化或溶解等過程
    顆粒物特性研究,如顆粒尺寸、孔隙率、顆粒結構及汙染物等

   
               白鼠大腦組織        一組纖維母細胞細節觀察

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